विसरित सिलिकॉन दबाव सेंसर की विशेषताएं

विसरित सिलिकॉन प्रेशर सेंसर की विशेषताएंयूपीएक्स19

1. यह छोटे पैमाने के ट्रांसमीटर बनाने के लिए उपयुक्त है: सिलिकॉन चिप के बल-संवेदनशील प्रतिरोध के पीजोरेसिस्टिव प्रभाव में शून्य बिंदु के पास कम-रेंज अनुभाग में कोई मृत क्षेत्र नहीं होता है, और दबाव सेंसर की सीमा कई केपीए जितनी छोटी हो सकती है।

2. उच्च आउटपुट संवेदनशीलता: सिलिकॉन स्ट्रेन प्रतिरोध का संवेदनशीलता कारक धातु स्ट्रेन गेज की तुलना में 50 से 100 गुना अधिक है, इसलिए संबंधित सेंसर की संवेदनशीलता बहुत अधिक है, और सामान्य रेंज आउटपुट लगभग 100mv है। इसलिए, इंटरफ़ेस सर्किट के लिए कोई विशेष आवश्यकताएं नहीं हैं, और इसका उपयोग करना अधिक सुविधाजनक है।

3. उच्च परिशुद्धता: क्योंकि सेंसर की भावना, संवेदनशील रूपांतरण और पता लगाने को एक ही घटक द्वारा महसूस किया जाता है, कोई मध्यवर्ती रूपांतरण लिंक नहीं है, और दोहराव और हिस्टैरिसीस त्रुटि छोटी है। चूंकि मोनोक्रिस्टलाइन सिलिकॉन स्वयं बहुत कठोर है और विरूपण छोटा है, इसलिए अच्छी रैखिकता सुनिश्चित की जाती है।

4. चूंकि काम का उभयलिंगी विरूपण माइक्रो-तनाव के क्रम जितना कम है, लोचदार चिप का अधिकतम विस्थापन उप-माइक्रोन के क्रम में है, इसलिए कोई पहनना नहीं है, कोई थकान नहीं है, कोई उम्र बढ़ने नहीं है, और सेवा जीवन स्थिर प्रदर्शन और उच्च विश्वसनीयता के साथ 1 × 103 दबाव चक्र जितना लंबा है।

5. सिलिकॉन के उत्कृष्ट रासायनिक संक्षारण प्रतिरोध के कारण, यहां तक ​​कि गैर-पृथक विसरित सिलिकॉन दबाव सेंसर में भी काफी हद तक विभिन्न मीडिया के अनुकूल होने की क्षमता होती है।

6. चूंकि चिप एकीकृत प्रक्रिया को अपनाती है और इसमें कोई ट्रांसमिशन भाग नहीं होता, इसलिए यह आकार में छोटी और वजन में हल्की होती है।

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